希爾思熱式質(zhì)量流量計用于直接測量氣體的質(zhì)量流量，并且不需要溫壓補償，具有高精度和長期穩(wěn)定性的特點，可用于壓縮空氣的計量，過程行業(yè)的氣體流量測量，或者污水處理廠等的生物沼氣測量。

　　熱式質(zhì)量流量計采用熱擴散原理，熱擴散技術是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術。其典型傳感元件包括兩個熱電阻（鉑RTD），一個是速度傳感器，一個是自動補償氣體溫度變化的溫度傳感器。當兩個RTD被置于介質(zhì)中時，其中速度傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的一個恒定的溫度，另一個溫度傳感器用于感應介質(zhì)溫度。流經(jīng)速度傳感器的氣體質(zhì)量流量是通過傳感元件的熱傳遞量來計算的。氣體流速增加，介質(zhì)帶走的熱量增多，使傳感器溫度隨之降低。為了保持溫度的恒定，則必須增加通過傳感器的工作電流，此增加的部分電流大小與介質(zhì)的流速成正比。

　　優(yōu)點：

　　希爾思熱式質(zhì)量流量計可測量低流速（氣體0.02~2m/s）微小流量；浸入式熱式質(zhì)量流量計可測量低~中偏高流速（氣體2~60m/s），插入式熱式質(zhì)量流量計更適合于大管徑。

　　熱式質(zhì)量流量計無活動部件，無分流管的熱分布式儀表無阻流件，壓力損失很??；帶分流管的熱分布式儀表和浸入性儀表，雖在測量管道中置有阻流件，但壓力損失也不大。

　　熱式質(zhì)量流量計使用性能相對可靠。與推導式質(zhì)量流量儀表相比，不需溫度傳感器，壓力傳感器和計算單元等，僅有流量傳感器，組成簡單，出現(xiàn)故障概率小。

　　熱分布式儀表用于H2、N2、O2、CO、NO等接近理想氣體的雙原子氣體，不*這些氣體專門標定，直接就用空氣標定的儀表，實驗證明差別僅2%左右；用于Ar、He等單原子氣體則乘系數(shù)1.4即可；用于其他氣體可用比熱容換算，但偏差可能稍大些。

　　氣體的比熱容會隨著壓力溫度而變，但在所使用的溫度壓力附近不大的變化可視為常數(shù)。

　　缺點：

　　希爾思熱式質(zhì)量流量計響應慢。

　　被測量氣體組分變化較大的場所，因cp值和熱導率變化，測量值會有較大變化而產(chǎn)生誤差。

　　對小流量而言，儀表會給被測氣體帶來相當熱量。

　　對于熱分布式熱式質(zhì)量流量計，被測氣體若在管壁沉積垢層影響測量值，必須定期清洗；對細管型儀表更有易堵塞的缺點，一般情況下不能使用。

　　對脈動流在使用上將受到限制。

　　液體用熱式質(zhì)量流量計對于粘性液體在使用上亦受到限制。